清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始，人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果。時至，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中，無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)。
    無油真空泵的盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個型盤狀結(jié)構(gòu)。一個靜盤與一個動盤組成的一對盤付構(gòu)成了無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級無油真空泵中，有兩個方向?qū)?yīng)的固定盤，一個位于兩個盤之間的轉(zhuǎn)動盤。動、靜盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。眾所周知，無油真空泵與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn)。
    真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)是間隙曉、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的陋力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮腔容積的變化市連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。