無油防爆真空泵：是一種粗抽泵,可從大氣壓抽到10-2Pa。在結構上采用徑向流和周向流泵的復合結構, 經多級串聯(lián)抽氣。這種泵的抽氣單元是以滿足壓力10-2Pa, 出口壓力為大氣壓,返油率為零而設計的。牽引泵在分子流態(tài)下有高的壓縮比,在粘性流態(tài)時抽速和壓縮比均很低。作為無油的粗抽泵來說,要經常在粘性流態(tài)下工作,因此不能采用這種抽氣單元。該泵選用了徑向流和周向流抽氣機構為了使該抽氣單元能從粘性流擴展到過渡流和分子流區(qū)域, 作為真空泵的抽氣單元, 經研究得出葉輪通道和轉向通道均為向后彎曲的葉片,組合后得到了很好的抽氣性能, 在低于103Pa 的過渡流和分子流范圍內, 壓縮比為3000。這種徑向流抽氣單元, 根據抽速的要求, 可調節(jié)葉輪上葉片的高度。（無油防爆真空泵